光刻工艺 光刻工艺中HMDS 2025-09-28 阅读(1) 光刻工艺是半导造中至关重要的一步,它决定了芯片的精细程度和性能。而在光刻工艺中,HMDS(六甲基二硅氮烷)扮演着重要的角色。HMDS 能改善光刻胶与硅片的粘附性,提高光刻工艺的精度和稳定性。本文将深入...