光刻工艺 光刻工艺的基本流程 2025-10-07 阅读(5) 光刻工艺作为半导造领域的核心技术,对于集成电路的发展起着至关重要的作用。它通过一系列精确的流程,将芯片设计图案转移到半导体衬底上,为后续的芯片制造奠定基础。光刻工艺的基本流程包括多个关键步骤。首先是光...