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光刻工艺

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光刻工艺作为半导造过程中的核心工艺之一,在整个芯片生产流程里占据着举足轻重的地位。它的主要功能是将掩膜版上的电路图形精确地转移到半导体晶圆表面的光刻胶上,就如同画家在画布上精准勾勒出细致的图案一样,光...