2025-12-09 阅读(0)

光刻技术作为半导造过程中的核心环节，对于芯片性能和制造效率起着决定性作用。而光刻中的焦深（DOF）是一个至关重要的参数，它直接关系到光刻工艺的稳定性和最终芯片的良品率。焦深（DOF）指的是在光刻过程中...