2025-11-24 阅读(2)

光刻技术作为半导造领域的核心技术之一，对于芯片的性能和集成度起着至关重要的作用。在光刻显影过程中，理想的结果是能够清晰、精准地将光刻图案转移到晶圆表面，有时会出现雪花状残留的问题，这一现象不仅影响了光...