2025-12-07 阅读(0)

光刻技术作为半导造中的核心工艺，在集成电路的发展历程中起到了至关重要的作用。随着集成电路特征尺寸的不断缩小，对光刻工艺的精度和可靠性要求也日益提高。在光刻过程中，有一个关键的概念——光刻DOF win...

2025-11-13 阅读(2)

光刻技术作为半导造领域的核心关键技术，在芯片制造过程中起着举足轻重的作用。它决定着芯片的性能、集成度以及最终的良率。光刻ovl（Overlay，套刻精度）是光刻工艺中极为关键的参数，它描述的是不同光刻...