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光刻机的镜子原理

光刻机的镜子
光刻技术

光刻机的镜子

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光刻技术,作为现代微电子制造领域的关键技术之一,其核心部件之一便是光刻机的镜子。光刻机的镜子在光刻过程中起着至关重要的作用,它的精度和质量直接影响着芯片的制造质量和性能。光刻机的镜子,通常是由高纯度的...