2025-11-09 阅读(4)

光刻工艺作为半导造领域的核心技术，对于芯片性能与集成度起着决定性作用。其中，数值孔径是光刻工艺中一个极为关键的参数，它对光刻的分辨率、焦深以及曝光能量等多个方面都有着深远影响。数值孔径（NA）是指光学...