2025-11-08 阅读(1)

光刻技术作为半导造领域的核心工艺之一，对于芯片性能和制造效率起着至关重要的作用。光刻PEB（Post Exposure Bake，曝光后烘焙）工艺则是光刻流程中的关键环节，它直接影响着光刻图案的质量和...

2025-11-07 阅读(1)

光刻工艺是半导造中至关重要的一步，它能够精确地将图案转移到硅片等基板上。而在光刻工艺中，Barrier Coat（简称 Barc）的使用具有重要意义，它在提高光刻精度、减少缺陷等方面发挥着关键作用。光...