2025-11-07 阅读(1)

光刻工艺是半导造中至关重要的一步，它能够精确地将图案转移到硅片等基板上。而在光刻工艺中，Barrier Coat（简称 Barc）的使用具有重要意义，它在提高光刻精度、减少缺陷等方面发挥着关键作用。光...