2025-11-06 阅读(1)

光刻工艺是现代半导造中极为关键的一环，它决定了芯片上电路的精细程度和性能。其中，HMDS（六甲基二硅氮烷）在光刻工艺中扮演着重要角色。在光刻工艺开始前，晶圆表面需要进行预处理，以确保光刻胶能够良好地附...