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光刻设备

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光刻设备作为半导造过程中的核心装备,对于芯片制造的精度和性能起着决定性作用。它利用光刻技术,将掩膜版上的集成电路图案通过曝光的方式转移到半导体晶圆表面的光刻胶上,如同精密的画师在极小的画布上描绘出复杂...