2025-09-28 阅读(0)

光刻设备作为半导造领域的核心装备，其重要性不言而喻。而光刻设备中的真空腔体更是关键部件，它为光刻过程提供了至关重要的环境条件。光刻设备是将芯片设计图案精确转移到半导体晶圆上的关键工具。在现代半导造工艺...