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光刻机 镜头

光刻机用的什么镜头
光刻技术

光刻机用的什么镜头

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光刻技术是半导造中至关重要的工艺,而光刻机则是光刻技术的核心设备。在光刻机中,镜头起着关键的作用,它直接影响着光刻的精度和质量。那么,光刻机究竟用的是什么镜头呢?光刻机所使用的镜头通常是超精密光学镜头...